SENSARAS晟尔斯PLS960系列侵入式多点液位计

产品型号：PLS960

产品品牌：美国 SENSARAS

产品分类：液位传感器











 产品描述 

超声波侵入式多点液位系统主要用于半导体工业中PVD、CVD、ALD等工艺所需的起泡器和安瓿瓶等容器罐内高纯度化学品液位的高精度和高可靠性的测量。液位系统在化学气相沉积过程中至关重要，如ALD，CVD，PVD等半导体晶圆制造过程。PLS960系列多点液位系统专业用于检测非常昂贵的超高纯度化学品（DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、DTEOS、DECT、TCA和金属化初级粒子等）的准确数量，减少化学废物，增加产量和利润。

 产品特点 
 

• 通过超声波回波处理技术检测液体在容器中的存在状态
• 不受被测物的介电常数、颜色、密度和粘度等参数影响
• 探头采用316L 不绣钢材质，通过½”或¾” VCR与容器连接
• 探头采用套筒式或叉式结构，一体式设计，无可移动部件
• 模块与探头分离，无需校准，易安装
• 独有的套管设计可根据用户不同点位的要求定制

 主要应用 
 

• 多点液位测量
• 高位/溢出报警
• 低位/停止、再进料
• 半导体行业和医药制药行业

 技术规格 

电路：    输       入： 24VDC
            输       出： 每点1A SPDT
                               1A SPDT 报错点或自动进料/退料
                                本地温度显示可选
                                可高达7点液位显示和报错显示
                                针对不同液体也无需校准
            重  复  性： +/- 0.04”(1mm)（典型）
            精        度： +/- 0.06 (1.5mm)
            电流消耗：最大250mA（典型）

探头：    材        质： 316L不锈钢
            3/4" VCR连接结构可达到7个液位检测点
            1/2" VCR连接结构可达到4个液位检测点
            多于7个点的检测请与我们联系，可定制达16个点
            K-type SLE 温度传感器（可选）
            最低液位检测点可置于探头末端向上5毫米
            两个液位检测点最小距离可为2.5毫米
            最大长度： 600毫米，若需更长尺寸与我们联系
            温        度： 0° to 125°C (标准)，达 160°C的定制请与我们联系

 尺寸图  

   

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